<ol id="cauol"><blockquote id="cauol"></blockquote></ol>

    <ol id="cauol"><output id="cauol"></output></ol>
  1. <span id="cauol"><sup id="cauol"></sup></span>
      <legend id="cauol"></legend>

    1. <dd id="cauol"><output id="cauol"></output></dd>

      1. <legend id="cauol"></legend>
        <legend id="cauol"><li id="cauol"></li></legend>
      2. <acronym id="cauol"></acronym>

        <span id="cauol"></span>
        <track id="cauol"></track>
        <legend id="cauol"></legend>
        <acronym id="cauol"></acronym>
      3. <acronym id="cauol"></acronym>

        1. <optgroup id="cauol"><li id="cauol"><del id="cauol"></del></li></optgroup>

          產品目錄
          真空泵,真空機組新聞資訊
           
          旋片式真空泵系列
          2X型旋片式真空泵
          X型旋片式真空泵
          2XZ型旋片式真空泵
          WX型無油真空泵
          XD型旋片式真空泵
          水環式真空泵系列
          2BV型水環式真空泵
          2BE型水環式真空泵
          SK型水環式真空泵
          SK型直聯水環式真空泵
          2SK型水環式真空泵
          SZ型水環式真空泵
          SZB型水環式真空泵
          往復式真空泵系列
          W系列往復式真空泵
          WLW系列無油立式真空泵
          羅茨真空泵系列
          ZJ系列羅茨真空泵
          ZJP系列羅茨真空泵
          滑閥式真空泵系列
          H滑閥式真空泵
          2H滑閥式真空泵
          水噴射真空泵系列
          RPP型水噴射真空泵
          ZSB型水噴射真空泵
          PSB型水噴射真空泵
          QPB型水蒸汽噴射真空泵
          擴散泵系列
          K型擴散泵
          KT(TK)型金屬油擴散泵
          真空機組系列
          JZJX系列羅茨旋片真空機組
          JZJ2B(S)系列羅茨水環真空機組
          JZJS系列羅茨水環真空機組
          JZJBA系列羅茨水環真空機組
          JZJP型羅茨水噴射真空機組
          RPP系列水噴射真空機組
          JZJW系列羅茨無油往復真空機組
          JZJH系列羅茨滑閥真空機組
          ZKJ系列真空機組
          無油干泵系列真空機組
          擴散泵系列真空機組
          真空泵配件
          DDC-JQ真空閥
          DYC-Q真空閥
          真空泵油
          真空表
          聯系我們
          公司地址:上海市青浦區勝利路588號
          銷售電話:021-51699921
          公司傳真:021-33275209
          公司網址:m.wildwestpr.com
          公司郵箱:chinafeilu@163.com
          推薦文章
          真空冷凍干燥在醫行事業上的應用

          夏季中水環式真空泵真空度降低的原因

          旋片式真空泵使用
          飛魯水環泵的型號說明及工作原理
          真空機組安裝調試的注意事項
          直聯旋片泵的使用禁忌及保養方法
          超高真空機組的特點及分類
          實驗室中常用機械泵的分類
          JZJS羅茨水環真空機組在真空爐中應用
          超高真空機組的特點及分類
          您當前位置:真空泵-首頁--新聞資訊

          He質譜檢漏儀在半導體真空系統的使用


          半導體設備真空系統出現故障一般分為兩類:一是真空泵機組及測量系統的故障,另一個是真空系統的泄漏。對于第一類故障,檢測真空泵的極限真空度或更換好的真空計就可以確認。對于第二類故障則需要檢漏。

          在對半導體設備檢漏時常使用兩種方法:靜壓檢漏法和He質譜檢漏法。靜壓檢漏法就是用閥門將真空室與真空泵組隔開,測量其內部壓強的變化。質譜檢漏法要復雜一些。

          He質譜檢漏儀一般需要拿到現場去,檢漏儀內有分子泵,因此搬運時要輕拿輕放。常常選擇檢漏儀高靈敏度方式來檢漏,這有利于保護分子泵。檢漏儀的抽氣能力有限,因此常常需要設備自己抽好真空。真空抽到0.5~10Pa就行。等到漏率顯示穩定或由穩定轉成減少后再開始檢漏。在檢漏過程中如果需要對門閥、粗抽閥、放氣閥等進行操作,則必需先讓檢漏儀停止檢漏并選擇檢漏口不放氣,避免真空室突然進入大量氣體而損壞檢漏儀。

          真空抽到后應該關上門閥和粗抽閥,以免分流導致真空漏率測量值小于實際值。最好停掉設備上的分子泵和機械泵,從而避免它們的干擾;有冷泵的設備要想檢漏徹底應該停掉冷泵。用真空法檢測雙密封結構產品漏率時,常有漏率“緩慢升高”的現象發生,因此在檢漏過程中要注意這一點,另外,要求He袋不漏氣,一般要求噴出的He流量少,這樣有利于確認漏點位置,但是也有特殊情況,需要在某些He不易到達的地方噴出較多He,以避免漏檢。檢漏時加裝的波紋管不能檢漏,發現漏點后要進行第二次確認,漏點維修后要再進行檢漏確認。

          半導體設備真空部分有許多部件,如果一個部件漏率較大,很容易導致高真空抽不上去。半導體設備的真空疑難故障大多是微漏導致高真空抽不上。真空檢漏的難點是要重視操作的細節部分,要有耐心。此外,選擇國產高真空計時要留有余地,否則將無法顯示期望的高真空度。

          上一篇:抽除有害氣體與無油清潔真空的獲得
          下一篇:半導體行業常用的真空計種類
          轉載請注明出處飛魯泵業版權所有,http://m.wildwestpr.com/,否則追究法律責任。
          網站地圖  聯系我們
           
           
          上海飛魯真空泵廠有限公司 銷售部電話:021-51699921 免費熱線:400-021-5161
           銷售部傳真:021-33275209 物流查詢:021-60530131 發票查詢:021-60530151 
           
          公司地址:上海市青浦區盈港開發區勝利路588號
           
          本網站所有圖片和資料均屬飛魯泵業科技所有,未經同意不得轉貼  網站備案號:滬ICP備11035286號
          无码一区二区久久久久|久久久久狠狠色精品|亚洲男人的天堂一区二区三区 |综合久久给合久久狠狠狠97色
          <ol id="cauol"><blockquote id="cauol"></blockquote></ol>

            <ol id="cauol"><output id="cauol"></output></ol>
          1. <span id="cauol"><sup id="cauol"></sup></span>
              <legend id="cauol"></legend>

            1. <dd id="cauol"><output id="cauol"></output></dd>

              1. <legend id="cauol"></legend>
                <legend id="cauol"><li id="cauol"></li></legend>
              2. <acronym id="cauol"></acronym>

                <span id="cauol"></span>
                <track id="cauol"></track>
                <legend id="cauol"></legend>
                <acronym id="cauol"></acronym>
              3. <acronym id="cauol"></acronym>

                1. <optgroup id="cauol"><li id="cauol"><del id="cauol"></del></li></optgroup>